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中国造首台超分辨光刻机,芯片制造实现了从0到1的历史性转变!

原标题:中国造首台超分辨光刻机,芯片制造实现了从0到1的历史性转变!

说到芯片制造,必然要提到光刻机,它是制造芯片的核心装备。

一直以来,光刻技术都掌握在日本和少数欧洲国家手中,我国在这方面是短板,时常遭遇国外掐脖子、禁售等各种制约。今年上半年中兴的危机,就是一个很好的警示,只有把技术牢牢抓在自己手中,才不会处处受制于人。

前不久,我国中科院光电所,用了七年时间,终于不负众望,研发出了中国人自己的超分辨光刻机,并在成都测试成功。

这台光刻机,采用365纳米波长光源,光刻分辨力22纳米,双重曝光技术后,可用于制造10纳米级别的芯片。也就是说,与荷兰ASML公司的技术相比,这台光刻机,用波长更长(近紫外)、成本更低(几万块的汞灯)的光源,可以实现更高的光刻分辨力(0.06倍曝光波长),是世界上首台分辨力最高的,紫外超分辨光刻装备。

这一技术的研发,在原理上突破了分辨力的衍射极限,克服了限制中国芯片制造的一大障碍,还创下了47项国内专利和4项国际专利。

虽然说这一设备,短时间还无法应用于芯片生产,但它成功打破了国外相关技术的垄断,取得了从无到有、从0到1的巨大进步!相信用不了多久,中国芯片的研发技术,一定可以赶超其他国家!你们说呢,朋友们?

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